反应离子刻蚀机及其冷却装置
授权
摘要
一种冷却装置及反应离子刻蚀机，该冷却装置的冷却盘和冷却板围成一个冷却腔，进液口和排液口设置在冷却腔的底壁，其中，在冷却腔的底壁还具有凸起设置的阻流件和凸起设置的至少一圈储水槽。该阻流件位于进液口和排液口之间，用以阻碍冷却液(如冷却水)直接从进液口流向排液口，而储水槽将进液口和排液口包围。在阻流件的作用下，迫使冷却液进入储水槽及其周围区域流动，让冷却液尽量流经冷却腔的整个区域，而不是直接从进液口流向排液口，可让流入的冷却液均匀地与冷却板接触，进行热交换。本冷却装置可均匀地推动冷却液流动，以加长保水期，并减少对流对散热的影响。
基本信息
专利标题 ：
反应离子刻蚀机及其冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920971940.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN209880535U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
陈燕铃
申请人 ：
华智科技（国际）有限公司
申请人地址 ：
中国香港新界沙田火炭坳背湾街2-12号威力工业中心11楼R室
代理机构 ：
深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
胥强
优先权 ：
CN201920971940.3
主分类号 ：
H01J37/305
IPC分类号 ：
H01J37/305 H01J37/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/305
用于浇铸、熔化、蒸发或浸蚀的
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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