冷却组件和离子刻蚀机
授权
摘要
本实用新型提供了一种冷却组件和离子刻蚀机，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本实用新型所提供的冷却组件，水冷座可降低离子枪的温度，减小对加速栅极与帘栅极之间的电压的影响，并且可减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。
基本信息
专利标题 ：
冷却组件和离子刻蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020773064.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN211719558U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
詹超王明才江玉奇李庆跃骆红莉郭雄伟黄文俊林土全
申请人 ：
东晶电子金华有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市婺城区宾虹西路555号
代理机构 ：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
尚志峰
优先权 ：
CN202020773064.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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