一种离子刻蚀系统
授权
摘要
本实用新型提出一种离子刻蚀系统，包括真空刻蚀腔体和真空泵，所述真空刻蚀腔体与真空泵的吸气口通过一连通管道相接；所述连通管道内设置有筒型过滤件和设置在筒型过滤件内的强磁铁吸附件；所述筒型过滤件由侧壁滤网和位于侧壁滤网下端的底部滤网组成；所述侧壁滤网的下端朝向真空泵；所述侧壁滤网的上端朝向真空刻蚀腔体，且与连通管道的内壁密封连接。本实用新型的随抽真空气流流动的金属颗粒受强磁铁吸附件的吸附，气流则通过筒型过滤件进一步过滤后进入真空泵内部。当设备工艺运行了一段时间之后，对强磁铁吸附件及筒型过滤件进行清洗或者更换。本实用新型有效保护了真空泵，且维护高效简便，维护成本低，改善了设备的维护周期及成本消耗。
基本信息
专利标题 ：
一种离子刻蚀系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921408647.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-28
授权号 ：
CN210325685U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
李娜刘海洋胡冬冬程实然侯永刚王铖熠郭颂许开东
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
彭英
优先权 ：
CN201921408647.2
主分类号 ：
H01J37/305
IPC分类号 ：
H01J37/305 H01J37/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/305
用于浇铸、熔化、蒸发或浸蚀的
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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