本实用新型公开了一种集成电路加工用的真空蒸发设备，包括腔室底座，所述腔室底座上表面设置有蒸发腔室，所述蒸发腔室一侧四角设置有滑动杆，所述滑动杆另一端连接有固定板，所述滑动杆末端设置有螺母，所述蒸发腔室一侧中间位置开设有腔室开孔，所述滑动杆外表面套设有移动板，所述移动板底端一侧套设有螺纹滑动杆，且移动板另一侧设置有蒸发源，所述螺纹滑动杆的一端设置有转动齿轮。通过设置用于驱动蒸发源进出蒸发腔室的电机组件，使蒸发源可以从移动板一端进出蒸发腔室，便于蒸发源的使用和维护，而且电机组件的增设，减少了人力支出，大大降低了人工操作蒸发源的难度，尤其是大体积大质量蒸发源的难度。