一种多功能晶片切割设备检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多功能晶片切割设备检测装置,包括固定夹具、CCD成像仪及显示器,其中,固定夹具包括相对设置且可相对移动的第一支座及第二支座,第一支座及第二支座分别设置有可旋转的第一配合部及第二配合部,第一支座及第二支座相互靠近以使待检测对象可转动地固定在固定夹具上;CCD成像仪用于拍摄待检测对象表面图像,CCD成像仪可往复移动地设置于固定夹具的上方;显示器与CCD成像仪连接;上述检测装置可通过成像设备获取待检测对象表面图像,使检测人员能够对待检测对象的表面进行全面的检查,对晶片切割断线异常产生的原因和钢线断线进行预防性检查,并采取相应的预防补救措施,降低断线发生概率和晶片损失。
基本信息
专利标题 :
一种多功能晶片切割设备检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921013374.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-29
授权号 :
CN210572029U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
罗爱斌宾启雄彭家焕孟国浩谭继军叶水景周铁军
申请人 :
广东先导先进材料股份有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
李宁
优先权 :
CN201921013374.1
主分类号 :
G01N21/952
IPC分类号 :
G01N21/952 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/952
检测圆状物件或圆线的外表面
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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