一种适用于单晶硅片单面抛光的自动收片装置

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摘要

本实用新型提供了一种适用于单晶硅片单面抛光的自动收片装置，包括箱架、水箱、斜板，并在斜板上依次设置旋转机构、传送机构、收片机构及升降机构，通过对旋转机构进行编程控制，可依据放置的硅片数量将陶瓷抛光盘进行圆周角度平分，使转盘的自动定角度旋转，从而逐一将硅片旋转到正对传送机构位置处，再由外力水枪冲走吸附的硅片并在斜板的倾斜作用下，硅片顺着传送板滑入收片机构中，从而实现抛光完成的硅片精准导入传送机构并自动引导收入片篮中，解决了现有技术中存在的收片劳动强度大、收片效率低、硅片易破损的技术问题。

基本信息

专利标题：

一种适用于单晶硅片单面抛光的自动收片装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921025444.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210524820U

授权日：

2020-05-15

发明人：

万喜增吴晓峰严云陈功

申请人：

浙江中晶科技股份有限公司

申请人地址：

浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

梁正贤

优先权：

CN201921025444.5

主分类号：

B24B41/06

IPC分类号：

B24B41/06