一种转塔式固晶机
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种转塔式固晶机,涉及芯片制造领域,包括校正补偿系统、取晶系统、点胶系统、固晶系统、转塔系统和检测系统;其中,校正补偿系统,用于微调芯片在装载芯片的晶圆盘上的位置;取晶系统,用于拾取晶圆盘上的芯片;点胶系统,用于对引线框架进行点胶操作;固晶系统,用于对芯片和引线框架进行固晶操作;转塔系统,进行芯片位置的转移,依次经过取晶系统、点胶系统和固晶系统;检测系统,进行芯片取晶前和固晶前位置参数补偿校正,本实用新型采用一套转塔式多摆臂吸嘴系统,与三套音圈电机下压机构的组合,以及配合高速的计算机运算控制与高速的工业相机视像处理系统,实现从晶圆盘中连续取晶、点胶、固晶等工艺要求。

基本信息
专利标题 :
一种转塔式固晶机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921031163.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-04
授权号 :
CN210349783U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
李辉王体李俊强
申请人 :
深圳市诺泰自动化设备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区沙井街道马安山第二工业区34栋二层1号
代理机构 :
深圳市中联专利代理有限公司
代理人 :
李俊
优先权 :
CN201921031163.0
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/677  H01L21/683  H01L21/687  H01L33/48  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-11-23 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20211111
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市诺泰自动化设备有限公司
变更后权利人 : 深圳市诺泰芯装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道马安山第二工业区34栋二层1号
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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