一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈

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摘要

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈，包括第一环形线圈和第二环形线圈，第一环形线圈和第二环形线圈以交叉排列的形式，形成三角形截面；三角形截面的三个顶点分别为环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三，且环形线圈截面一位于环形线圈截面二和环形线圈截面三连线上方的中间位置；环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三相向的一侧的两个拐角处各设置一个倒角倾斜面；两个倒角倾斜面关于垂直轴线对称；环形线圈中相对的倒角倾斜面相互平行。本申请在避免尖端放电的同时，环形线圈之间的距离减小，占用空间小，正对面积大，同时，还使得整个等离子体耦合线圈的电感大。

基本信息

专利标题：

一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921069676.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-10

授权号：

CN209929073U

授权日：

2020-01-10

发明人：

郭颂刘小波胡冬冬许开东

申请人：

江苏鲁汶仪器有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路8号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

石艳红

优先权：

CN201921069676.0

主分类号：

H01F5/00

IPC分类号：

H01F5/00 H01J37/30 H01J37/02