一种新型单晶炉组件
授权
摘要

本实用新型公开了单晶硅生产装置技术领域的一种新型单晶炉组件,包括外壳、顶板、内炉、主框、副框、底座和底架,所述外壳的顶部接触所述顶板,所述外壳的内部接触所述内炉,所述外壳的内腔左右侧壁通过螺栓固定连接有所述主框和副框,该种新型单晶炉组件,利用整体外壳内置的方式,使底座和底架对内炉进行支撑,内炉被主框和副框的接触板固定后,保持稳定,通过旋转带有空腔的转盘带动顶板下移对槽口进行密封,使夹头对籽晶进行夹取的同时,保证内炉的整体内置,在同等温度下有效提高内炉的温度,内部环境保温性好,节能环保,也有效降低内炉与外部的接触面积,使外部氧含量的干扰情况降低,单晶硅形成环境趋于稳定,以达到提升品质目的。

基本信息
专利标题 :
一种新型单晶炉组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921147187.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-22
授权号 :
CN210287577U
授权日 :
2020-04-10
发明人 :
钱拓陈林军
申请人 :
新疆晶科能源有限公司
申请人地址 :
新疆维吾尔自治区伊犁哈萨克自治州新源县工业园区A区
代理机构 :
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孟阿妮
优先权 :
CN201921147187.2
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2020-04-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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