一种掩膜板清洗装置

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摘要

本实用新型实施例公开了一种掩膜板清洗装置，掩膜板清洗装置包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿移动导轨移动；沿移动导轨延伸的方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。本实用新型实施例提出的掩膜板清洗装置，通过设置至少一个喷洒式清洗槽，有效提升了掩膜板上异物杂质的清除率，改善了掩膜板清洁效果，提升了通过掩膜板制备的产品的良品率。

基本信息

专利标题：

一种掩膜板清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921171823.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-24

授权号：

CN210304791U

授权日：

2020-04-14

发明人：

江欢余溁

申请人：

上海和辉光电有限公司

申请人地址：

上海市金山区九工路1568号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201921171823.5

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/04 B08B3/08 F26B21/00