本实用新型提供一种光掩膜清洗装置。所述光掩膜清洗装置，包括：清洗管道；移动夹紧组件，所述移动夹紧组件固定连接于所述清洗管道内壁的背面；两个清洗组件，两个所述清洗组件均固定连接于所述清洗管道内壁的背面。本实用新型提供的光掩膜清洗装置具有通过风干组件中的扇叶与电热丝进行配合，能够对风进行一定的加热处理，再将风导入到光掩膜的表面对其表面进行风干处理，有效的提高了风干的效率，以及使得水雾能够得到彻底的风干，避免了光掩膜表面再次受到灰尘的影响，避免风干过程中灰尘附着到光掩膜表面造成污染，另外通过清洗组件中的第一齿轮和齿条的配后能够使得擦拭布能够更好的与光掩膜表面接触，使得清洗更加干净。