一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元
授权
摘要
本实用新型涉及半导体晶盘片量测设备技术领域，具体为一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元，包括量测设备主体，量测设备主体的内部设有与外界相连通的空腔，空腔的底壁上设有量测平台，量测平台上紧密焊接有弧形块，弧形块内设有与外界相连通的弧形槽；空腔内还设有轨道输送装置，轨道输送装置包括紧密焊接在空腔一侧腔壁上的滑轨，滑轨的一端部设有微型马达，微型马达的输出轴末端紧密焊接有丝杆，底板上设有液压缸。本实用新型省时省力，便于将半导体晶盘片输送至量测平台上，给使用者带来便利。
基本信息
专利标题 ：
一种带输送轨道的半导体晶盘片量测单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921195514.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-28
授权号 ：
CN210973008U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
闫文军张勇杜良辉
申请人 ：
江苏壹度科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市句容市开发区崇明西路102号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921195514.1
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07 G01B21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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