激光刻蚀装置和激光加工系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统，其中，激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器；所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方；若干所述振镜围设于所述反射镜组四周；每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧，每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。
基本信息
专利标题 ：
激光刻蚀装置和激光加工系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921348575.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN211804404U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
岳国汉
申请人 ：
深圳市牧激科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坂田街道布龙335龙景工业园F栋102室、202室
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
张小容
优先权 ：
CN201921348575.7
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/064
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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