双面纳米银线薄膜激光刻蚀装置
授权
摘要
本实用新型涉及双面纳米银线薄膜激光刻蚀装置，飞秒紫外激光器的输出光路上依次布置反射镜、二维振镜、场镜，二维振镜安装在可上下移动的Z轴运动机构上；双面覆有纳米银线涂层的触控薄膜材料，中间层为基材，两面覆有相同的纳米银线涂层，其中一面为A面，另一面为B面，激光光束按照设计图形加工A面；A面正对激光出光口，飞秒紫外激光器输出激光束，脉宽10～1000fs，按照设计路径扫描刻蚀A面的纳米银线涂层，扫描加工瞬间刻蚀去除纳米银线，A面形成预先设计的电阻网络；A面加工完成，对A面覆膜保护；翻面，激光光束按照设计图形加工B面，B面形成预先设计的电阻网络。避免激光蚀刻过程中激光能量穿透膜的一面将另一面击伤。
基本信息
专利标题 ：
双面纳米银线薄膜激光刻蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020175284.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-17
授权号 ：
CN211840610U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
赵裕兴张广庚
申请人 ：
苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
代理机构 ：
江苏圣典律师事务所
代理人 ：
王玉国
优先权 ：
CN202020175284.9
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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