激光加工系统

授权

摘要

本实用新型提供一种激光加工系统，所述激光加工系统包括基板承载台；激光发生组件，设置于基板承载台的台面一侧，包括激光振荡器，一对振镜组件以及聚光元件；承载台移动组件，与所述基板承载台连接；激光感测元件，安装固定于所述基板承载台的外侧，且激光感测元件的光束感测面与基板承载台的台面处于同一水平面；以及控制部，控制部与激光发生组件，承载台移动组件及激光感测元件连接；控制部利用所述承载台移动组件驱动基板承载台移动以带动激光感测元件在激光发生组件的最大照射区域内移动，并根据激光感测元件的探测结果来对所述激光发生组件的振镜组件的控制参数进行校正，从而提高激光加工系统的激光束的照射位置的精度。

基本信息

专利标题：

激光加工系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021234842.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-29

授权号：

CN212682785U

授权日：

2021-03-12

发明人：

凌步军朱鹏程袁明峰赵有伟孙月飞冯高俊滕宇吕金鹏冷志斌

申请人：

江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12幢401-73

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人：

林凡燕

优先权：

CN202021234842.0

主分类号：

B23K26/042

IPC分类号：

B23K26/042 B23K26/064 B23K26/362