一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备。带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。本实用新型通过设置隔膜阀，将收、放卷室与镀膜室隔离，使得镀膜室能长期处于真空状态，提高生产效率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921365979.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210314474U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
朱刚毅朱刚劲朱文廓
申请人 ：
广东腾胜科技创新有限公司
申请人地址 ：
广东省肇庆市三榕工业开发区泰隆包装机械有限公司厂房西8卡之二
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
官国鹏
优先权 ：
CN201921365979.7
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
