一种红外光敏三极管芯片结构
授权
摘要
本实用新型涉及一种红外光敏三极管芯片结构,包括:背金层,形成集电极;外延片,所述外延片的型号为N<100>,所述外延片包括外延层和外延衬底,所述外延衬底覆盖在所述背金层上,由N型CZ硅单晶制成,所述外延层覆盖在所述外延衬底上,所述外延层的厚度为30‑40μm,电阻率为10‑16Ω·cm,所述外延层远离外延衬底设有基区和发射区,所述发射区设置在所述基区内;氧化层,覆盖在所述外延层上,所述氧化层的厚度为氮化硅膜,覆盖在所述氧化层上,所述氮化硅膜的厚度为
折射率为1.9‑2.1,所述发射区连接有发射极,所述发射极穿透所述氧化层和所述氮化硅膜向外。本实用新型的一种红外光敏三极管芯片结构,提高了红外光的转换效率。
基本信息
专利标题 :
一种红外光敏三极管芯片结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921386000.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-23
授权号 :
CN210092111U
授权日 :
2020-02-18
发明人 :
李星男江秉闰
申请人 :
深圳市星华灿科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区西乡街道固戍社区宝安大道4197号润丰工业园C栋宿舍710
代理机构 :
深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何兵
优先权 :
CN201921386000.4
主分类号 :
H01L31/11
IPC分类号 :
H01L31/11 H01L31/0224 H01L31/0352
法律状态
2020-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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