一种化学气相沉积炉气体预热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体、过滤机构、混合机构、换热管、放置盒和盖板；壳体的左右表面通过法兰连接盘安装有连接罩，连接罩上设有连接管；过滤机构与左侧的连接管连通；混合机构安装在壳体的前表面；换热管分布在壳体的内部，且与连接罩连通；放置盒通过限位机构安装在壳体前表面的放置槽中，放置盒上设有把手；本化学气相沉积炉气体预热装置，不会占用装料空间，可以加快空气的流动，能够提高对空气的预热效率，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉气体预热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921392855.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-26
授权号 ：
CN210394513U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
顾泉
申请人 ：
江苏旭宇腾半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海门市海门镇富江南路698号内9号房
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
吴建龙
优先权 ：
CN201921392855.8
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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