用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，所述卡匣包括卡匣主体，所述卡匣主体由底板、顶板、若干侧立柱以及若干支撑板连接构成，形成若干层；每层支撑板上分别设置有若干垫板以及四组限位块；所述顶板上设置有供MCT搬送的吊点治具；若干卡匣叠放，相邻卡匣之间设置有定位销组；所述顶板、底板、侧立柱、支撑板的材质均为铝合金，表面分别氧化；所述垫板、限位块、吊点治具、定位销组的材质均为不锈钢，表面分别均涂布有类金刚石涂层。整体结构更加轻便，通过涂布类金刚石涂层（DLC涂层），提高其耐磨性，使用寿命长，避免金属掩膜板存取摩擦、卡匣叠加接摩擦以及其他制程工艺过程中产生细小颗粒及尘离子。
基本信息
专利标题 ：
用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921409713.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-28
授权号 ：
CN210681600U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
王向阳
申请人 ：
上海东朋科技有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区工业园区汇金路1008号
代理机构 ：
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 ：
昝美琪
优先权 ：
CN201921409713.8
主分类号 ：
B65D25/04
IPC分类号 ：
B65D25/04 B65D25/24 B65D25/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
B65D25/04
隔板
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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