一种用于防止等离子气体沉积的传输单元
授权
摘要
本实用新型涉及了气体传输技术领域，公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。包括：具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。本实用新型一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，能够使等离子气体在管体内的每一处都能被持续加热，并且能够提高对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于防止等离子气体沉积的传输单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921658780.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-30
授权号 ：
CN211010372U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
杨逸波
申请人 ：
无锡英普朗科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市经济开发区高凯路27号1号楼3楼301～302
代理机构 ：
苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周子轶
优先权 ：
CN201921658780.3
主分类号 ：
F16L53/38
IPC分类号 ：
F16L53/38
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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