一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件
授权
摘要

本实用新型属于真空晶圆级封装技术领域,具体为一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件,包括器件晶圆和腔件晶圆,所述器件晶圆的的顶部设有多个装置槽,所述装置槽内滑动插设有腔件晶圆,所述器件晶圆靠近装置槽的一侧设有空腔,所述空腔内滑动插设有锁紧杆,所述锁紧杆的一端贯穿空腔的内壁并向外延伸,所述腔件晶圆上设有与锁紧杆对应的锁紧口,所述锁紧杆位于空腔内的一端固定套接有卡套,所述锁紧杆上套设有弹簧,所述弹簧的两端分别与卡套和空腔的内壁固定连接,所述锁紧杆远离锁紧口的一端贯穿空腔的内壁并向外延伸,本实用新型通过多处调节机构的设置,方便对晶圆器件进行拆装,提高了晶圆装置封装的效率。

基本信息
专利标题 :
一种全覆盖吸气剂晶圆级电子元件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921967025.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-14
授权号 :
CN211338793U
授权日 :
2020-08-25
发明人 :
杨宝亮
申请人 :
深圳市兰科半导体科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市福田区福田街道皇岗社区益田路3008号皇都广场A栋2305
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921967025.3
主分类号 :
B81B7/00
IPC分类号 :
B81B7/00  B81B7/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2020-08-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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