一种用于传送晶片的机器人以及手臂
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及一种用于传送晶片的机器人,包括手臂和机器人手指,机器人手指可拆卸连接手臂的末端并用来承托晶片。手臂包括基座和运动机构;基座能够相对于外部机构水平转动;运动机构包括导引臂和若干转动关节;若干转动关节用于驱动导引臂和机器人手指联动,并相对于基座做水平伸缩运动;手臂还包括传感器,传感器安装在导引臂的第一端,且机器人手指朝向导引臂的第二端。当手臂空闲时,导引臂的第一端朝向片盒,使传感器对片盒内的晶片进行侦测;而手臂繁忙时,导引臂的第二端朝向片盒,使机器人手指取放片盒内的晶片。这样做,可减小机器人手指的厚度,增大机器人手指在取片时的可调空间,并降低机器人手指的加工难度。

基本信息
专利标题 :
一种用于传送晶片的机器人以及手臂
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922024983.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-21
授权号 :
CN210778540U
授权日 :
2020-06-16
发明人 :
陈国勇李青桦
申请人 :
中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN201922024983.3
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/677  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-08-27 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/687
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
2020-06-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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