湿制程用清洁机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种应用上更多元，能降低成本、耗能、故障率，并节约空间的湿制程用清洁机构，其技术手段为清洁机构能配合湿制程设备应用，清洁机构至少包括配合湿制程设备设置的机器臂机构及清洁头组；机器臂机构包含水平、垂直位移机构及机器臂、快速公接头，水平位移机构设于湿制程设备后侧，垂直位移机构设于水平位移机构顶侧面，并能被其带动位移，机器臂设于垂直位移机构前侧处，能被其带动位移，快速公接头设于机器臂自由端；清洁头组至少包含水清洗头、药液清洁头及干燥头，其三者皆设有快速母接头，水清洗头能调整喷水角度，快速母、公接头能相互配合，使各头能被机器臂机构分别提起带动位移，以供发挥出相应功能用。

基本信息

专利标题：

湿制程用清洁机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922106081.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN211455651U

授权日：

2020-09-08

发明人：

蔡韶庭林伯龙

申请人：

佳宸科技有限公司

申请人地址：

中国台湾新北市

代理机构：

北京维澳专利代理有限公司

代理人：

王立民

优先权：

CN201922106081.4

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67