一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备
授权
摘要

本实用新型涉及加工技术领域,且公开了一种可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,包括框体,所述框体的顶部固定安装有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的底部固定安装有封装板,所述封装板的底部活动安装有上晶圆板。该可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,通过设置步进电机旋转带动套管一并转动,使得套管内部活动连接着的伸缩杆带动夹头转动,从而将夹头夹持的连接螺杆与连接件进行螺纹连接,方便了对晶圆板的组装,提高晶圆盒的组装效率,通过将晶圆盒分成上晶圆板与下晶圆板,同时将上晶圆板的底部设置成弧形,因此在组合过程中避免了对晶圆块的接触防止晶圆块的损坏。

基本信息
专利标题 :
一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922124266.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-02
授权号 :
CN210575871U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
杨雪松吴天骄孙健
申请人 :
江苏纳沛斯半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省淮安市工业园区发展大道18号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922124266.8
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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