一种旋转扩晶装置
授权
摘要
本实用新型涉及扩晶装置技术领域，尤其公开了一种旋转扩晶装置，包括固定架、转动设置于固定架的晶元旋转台、装设于固定架的卡持机构、第一驱动机构及第二驱动机构；第一驱动机构包括转动设置于固定架的多个丝杆、螺接套设在多个丝杆的多个螺母件、与所有螺母件连接的扩晶台；第二驱动机构驱动晶元旋转台转动，卡持机构锁住晶元旋转台；扩晶台转动设置有与晶元旋转台配合的扩晶压板；将待扩晶的晶元组件放置到晶元旋转台，第二驱动机构驱动晶元旋转台转动进而将晶元组件转动到所需的角度，卡持机构卡住晶元旋转台，第一驱动机构驱动扩晶台连带扩晶压板移动，实现对晶元组件的自动扩晶；提升晶元组件的扩晶效率及扩晶良率。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转扩晶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922159030.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-05
授权号 ：
CN210640190U
授权日 ：
2020-05-29
发明人 ：
陈勇伶
申请人 ：
深圳市矽谷半导体设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
卢春华
优先权 ：
CN201922159030.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-05-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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