本实用新型涉及半导体晶圆扩晶技术领域，尤其公开了一种晶圆扩晶装置，包括支撑板，转动设置于支撑板的晶圆旋转台；第二驱动件包括转动设置的多个丝杆、螺接套设在多个丝杆的多个螺母件，设置于一个丝杆的第一齿轮，设置于支撑板的第一电机的第二齿轮，活动设置的过桥齿轮；驱动单元驱动过桥齿轮啮合第一齿轮及第二齿轮，第一电机经由第二齿轮、过桥齿轮、第一齿轮带动丝杆转动使得螺母件带动扩晶台靠近晶圆旋转台移动，实现扩晶处理；当不需要扩晶时，驱动单元驱动过桥齿轮脱开第一齿轮及第二齿轮。实现扩晶与旋转的双功能，扩晶时利用过桥齿轮实现第一电机的动力传输，扩晶后过桥齿轮脱离，实现晶圆旋转台的自由转动运行。