一种硅片自动清洗脱胶装置

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摘要

本实用新型涉及硅片生产技术领域，且公开了一种硅片自动清洗脱胶装置，包括装置外壳，所述装置外壳的一旁侧壁上固定安装有箱门，所述装置外壳与箱门之间转动连接有铰链，所述装置外壳的内部上侧固定安装有移动装置，所述移动装置的底部固定安装有转动装置。该硅片自动清洗脱胶装置，通过在装置的内部固定安装有脱胶池，并在脱胶池的上方固定安装有放置架，且将放置架固定安装在移动装置、转动装置和伸缩杆上，通过移动装置和转动装置实现放置架进行水平方向和数值方向上的移动，便于对放置架进行拿取，且通过转动装置将放置架在脱胶池的内部进行旋转，便于通过放置架的旋转对放置架内部的硅片进行清洗。

基本信息

专利标题：

一种硅片自动清洗脱胶装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922271314.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-17

授权号：

CN211802699U

授权日：

2020-10-30

发明人：

涂剑

申请人：

丽水腾创新材料有限公司

申请人地址：

浙江省丽水市云和县白龙山街道朝阳路30号（5号厂房）

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922271314.6

主分类号：

B08B3/04

IPC分类号：

B08B3/04 B08B3/10 B08B3/08 B08B3/14 H01L21/67