一种带有清洗装置的自动化硅片脱胶机
实质审查的生效
摘要
本发明公开了脱胶机技术领域的一种带有清洗装置的自动化硅片脱胶机,包括脱胶机主体,脱胶机主体前侧壁开设有三组工作窗口,脱胶槽体内左右侧壁均设有加热板,脱胶槽体后侧壁设有循环过滤组件,脱胶槽体左侧壁设有安装架,安装架顶部设有安装板,绕线辊外壁套接设有绳索,绳索自由端连接设有连接绳,连接绳两端均设有挂钩,脱胶槽体上方设有放置架,放置架顶部前后两侧均铰接设有与挂钩相匹配的安装环,本发明设置多组转动的放置板,将硅片放置在放置板上,绳索带动放置架进入到脱胶槽体内,方便上下料,同时在多组放置板的作用下防止硅片在脱胶清洗时发生碰撞的效果,解决了现有的清洗篮在进行脱胶清洗时硅片易发生碰撞的问题。
基本信息
专利标题 :
一种带有清洗装置的自动化硅片脱胶机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114345819A
申请号 :
CN202111566588.3
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蔡鹏何飞洪布双
申请人 :
江苏德润光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路
代理机构 :
南京申云知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王世超
优先权 :
CN202111566588.3
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10 B08B3/14 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/10
申请日 : 20211220
申请日 : 20211220
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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