一种纳米模板用拼板压印机
授权
摘要
本实用新型提出一种纳米模板用拼板压印机，包括：工作台；模具移动装置，模具移动装置包括：与工作台转动连接的模具横向移动机构，以及与模具横向移动机构螺纹连接的模具纵向移动机构；模具基台，与模具纵向移动机构连接，模具基台上设置有真空吸盘；支架，位于工作台上方与工作台连接；压印移动装置，位于所述真空吸盘上方与所述支架连接可纵向垂直移动；滴胶装置，与压印移动装置连接；基片取放装置，与压印移动装置连接；紫外曝光装置，与压印移动装置连接，紫外曝光装置上设置有紫外灯。本实用新型工作效率高，不仅提高了产量，且降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米模板用拼板压印机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922287127.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN210835583U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
冀然
申请人 ：
苏州天仁微纳智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园1号楼311室
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈娟
优先权 ：
CN201922287127.7
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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