一种适用于多种形状模板的纳米压印辅助装置
公开
摘要
本发明提供了一种适用于多种形状模板的纳米压印辅助装置，包括图像抓取单元、激光切割单元、上料单元、固定单元和纳米压印基片固定单元，图像抓取单元用于抓取基片的边缘；激光切割单元用于切割基片，将基片切割成补偿基片；上料单元位于激光切割单元和纳米压印基片固定单元之间，上料单元将切割好的补偿基片由固定单元转移至纳米压印基片固定单元；固定单元用于暂时固定基片和补偿基片，使激光切割单元对基片和补偿基片进行切割；纳米压印基片固定单元用于固定切割好的基片和补偿基片，并且将基片和补偿基片输送至压印处完成纳米压印动作使一台纳米压印设备同时适用于多种形状模具，满足多种需求，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于多种形状模板的纳米压印辅助装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624957A
申请号 ：
CN202210297383.8
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冀然
申请人 ：
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
代理机构 ：
山东重诺律师事务所
代理人 ：
王鹏里
优先权 ：
CN202210297383.8
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 B23K26/38 B23K26/70
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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