一种芯片显影机用取片装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片显影机用取片装置，包括连通管、气缸、海绵垫、推板、电动推杆、电源盒、开关、外壳、横板、防滑条、壳体、底盖、连接气囊、通气板、橡胶垫、吸盘和连接板。本实用新型可以通过在通气板底部安装多个吸盘，可以在进行取片时芯片表面受力均匀，避免因为负压引起的速度过大导致损坏芯片，吸盘底部的橡胶垫可以在取片时防止芯片损伤；可以通过伸缩杆和气缸快速进行取片，通过在壳体内部设有海绵垫可以保护气缸，壳体底部通过连接板固接底盖，底盖可以在取片时进行定位，也可以在取片过程中保护芯片，避免芯片在取片过程受到损伤。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片显影机用取片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922287957.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211180531U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
许国庆
申请人 ：
菏泽力芯电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省菏泽市高新区中华西路2059号发为工业园A17西户
代理机构 ：
济南宝宸专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
荆向勇
优先权 ：
CN201922287957.X
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
