一种角度可调的蒸镀电极装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种角度可调的蒸镀电极装置，包括坩埚、钨丝框和与钨丝框两端延伸钨丝相连的电极，所述电极包括电极压片、电极底座和电极定位装置，电极压片固定螺栓将电极压片、延伸钨丝和电极底座固定在一起，所述电极定位装置包括定位块和连接杆，所述定位块的上端面有一个内凹球面孔，球面孔内嵌有一个能转动的圆球，所述连接杆的一端与电极固定连接，另一端与圆球球面连接，所述圆球与定位块之间通过球面固定螺栓固定。本申请将坩埚电极的定位装置设计成球链结构，可以让电极角度在横向和纵向的一定角度范围内进行调整。当圆球转动角度时，带动接连杆转动，因此两个电极与坩埚也发生相应角度的转动，因此可以使基板上的镀层均匀涂覆。
基本信息
专利标题 ：
一种角度可调的蒸镀电极装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922341103.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211471539U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
郭英能戴雷蔡丽菲
申请人 ：
广东阿格蕾雅光电材料有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市顺德区大良街道五沙社区新辉路8号
代理机构 ：
北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡敬红
优先权 ：
CN201922341103.5
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/12 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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