本实用新型公开了一种硅片去胶装置，底座本体，底座本体上部具有污水槽和气室，底座本体一侧设置有污水排水管和真空发生器，污水槽和气室的两侧设置有支撑板，气室上部设置有真空吸附模板，真空吸附模板上部具有真空吸附孔，真空吸附模板与支撑板之间设置有固定板，支撑板顶部滑动连接有横梁，横梁上部设置有升降板，升降板中间设置有气缸，气缸穿过横梁和升降板连接有去胶滚筒，支撑板两侧自上而下依次设置有溶解液进口管、清洗水进口管和热风进口管。本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；能够用于不同大小，不同厚度的硅片进行去胶，去胶更彻底、洁净，提高硅片后续加工的便捷与硅片的性能。