一种连续式双面EMI镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种连续式双面EMI镀膜设备,包括安装座、支撑腿、镀膜装置、安装装置和抽真空装置;首先将EMI安装在限位安装板上,通过限位杆和安装螺栓对EMI进行固定安装,打开真空泵,真空泵对装置内进行抽真空,抽真空后,打开蒸汽生成器,蒸汽生成器将镀膜材料变成蒸汽,通过连接管和贯通管结合镀膜喷头对EMI的两面进行喷淋镀膜,与在镀膜喷淋的过程中启动驱动电机,带动主动齿轮进行转动,主动齿轮转动的同时带动转动杆和限位安装板同时转动,配合不间断的镀膜喷淋能够同时对限位安装板上的EMI进行多角度的双面喷淋,进而可自动对EMI均匀进行镀膜,提高了EMI的生产品质,也提高了装置的生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种连续式双面EMI镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922484297.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN211897085U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
王光华
申请人 :
赫得纳米科技(昆山)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市昆山开发区高科技工业园都市路21号
代理机构 :
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
汤东凤
优先权 :
CN201922484297.4
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载