一种镀膜机
授权
摘要
本发明提供了一种镀膜机，包括真空腔体、回转机构、镀膜辊系机构和镀膜机构，在第一镀膜冷却辊位于第一靶位且第二镀膜冷却辊位于第二靶位时，第二收放卷件释放的基材依次缠绕在第二镀膜冷却辊以及第一镀膜冷却辊上，再由第一收放卷件进行收卷；在回转机构带动第一镀膜冷却辊旋转至第二靶位时，第一收放卷件释放的基材依次缠绕在第一镀膜冷却辊以及第二镀膜冷却辊上，再由第二收放卷件进行收卷。本发明提供的镀膜机，基材的正面镀上第一镀膜部件和第二镀膜部件上的靶材，基材的反面也镀上第一镀膜部件和第二镀膜部件上的靶材，在不需要打开真空腔体就能够实现单腔体镀膜机的基材的双面上同时镀上不同的材料且能减少耗时。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111235544A
申请号 ：
CN202010053715.9
公开（公告）日 ：
2020-06-05
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN111235544B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
彭建林诸葛挺
申请人 ：
深圳市博能自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坪山街道金田路294-2号
代理机构 ：
深圳众鼎汇成知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱业刚
优先权 ：
CN202010053715.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2020-06-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20200117
申请日 : 20200117
2020-06-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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