一种真空镀膜设备用抽真空装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜设备用抽真空装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空泵本体，还包括：固定组件，所述固定组件安装在真空泵本体外侧，用于对真空泵本体进行固定，以及减震组件，所述减震组件包括竖向缓冲机构以及横向缓冲机构，所述竖向缓冲机构包括缓冲板，所述缓冲板表面相对布置两组缓冲杆，所述缓冲杆安装在真空泵本体两侧，缓冲杆外侧设置缓冲弹簧，缓冲弹簧在竖直方向对真空泵本体进行减震处理，所述伸缩套筒与伸缩弹簧配合在水平方向对真空泵本体进行减震处理，进而对真空泵本体进行全方位减震处理，有效避免在长时间的振动的过程中真空泵本体内部结构损坏，通过对真空泵体进行保护，有效延长了使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜设备用抽真空装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122094967.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-01
授权号 ：
CN216155959U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
杨林生
申请人 ：
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北，桃源路西方兴园8幢405室
代理机构 ：
合肥三川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
潘光亮
优先权 ：
CN202122094967.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 F16F15/067
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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