一种利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置
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摘要

本发明公开了一种利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置,驱动装置内腔的内壁固定设置有隔板,隔板的表面固定设置有加热层,反应罐内腔的内壁固定设置有驱动装置,通孔的内腔固定设置有夹持机构,坩埚的表面固定开设有连接口,进液阀的一端贯穿反应罐、隔板和滑轨的表面,并与连接口活动连接,本发明涉及氮化镓生长技术领域,该利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置,解决了无法进行多个氮化镓晶体来进行共同的生长,无法对氮化镓晶体在坩埚内腔的溶液中进行位置的调整,不能保证晶种模版一直处在最佳的生长环境,不利于提高氮化镓晶体生长效率和生长质量,无法对坩埚进行清理和对大小不同的晶体进行夹持的问题。

基本信息
专利标题 :
一种利用氨热法生产氮化镓晶体的生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112095140A
申请号 :
CN202010773368.7
公开(公告)日 :
2020-12-18
申请日 :
2020-08-04
授权号 :
CN112095140B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
周德金吴超徐宏黄伟闫大为于理科钟磊
申请人 :
清华大学无锡应用技术研究院
申请人地址 :
江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢13楼
代理机构 :
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
胡剑辉
优先权 :
CN202010773368.7
主分类号 :
C30B7/10
IPC分类号 :
C30B7/10  C30B28/04  C30B29/40  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B7/00
常温液态溶剂之溶液,例如水溶液的单晶生长;用正常凝固法或温度梯度凝固法的入C30B11/00;在保护流体下的入C30B27/00)
C30B7/10
加压法,例如水热法
法律状态
2022-05-13 :
授权
2021-08-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 7/10
申请日 : 20200804
2020-12-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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