一种半导体材料处理系统
授权
摘要

本发明公开了一种半导体材料处理系统,包括支架,所述支架底端四角处均固定安装有支撑杆,所述支撑杆顶端和支架顶端边部均固定安装有防护套,所述支架底端中部等距安装有固定杆,通过转动定位清理机构,能够增加石墨坩埚移动时的稳定性,同时能够对石墨坩埚外表面进行测量和清理,降低了石墨坩埚外表面的清理和测量的难度,解决了现有技术石墨坩埚运行时易产生晃动的现象,同时解决了现有技术中石墨坩埚不便于测量和清理的问题,从而提高了人员的操作效率,而且能够在不影响石墨坩埚的正常使用的前提下增加了该石墨坩埚在运行时的安全性,从而增加了该装置的安全系数,降低了该装置的损坏率,从而增加了该装置的使用寿命。

基本信息
专利标题 :
一种半导体材料处理系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112030230A
申请号 :
CN202010803937.8
公开(公告)日 :
2020-12-04
申请日 :
2020-08-11
授权号 :
CN112030230B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
杨文伟
申请人 :
杨文伟
申请人地址 :
四川省德阳市华山南路海棠巷8号
代理机构 :
安徽盟友知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
周荣
优先权 :
CN202010803937.8
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/00  C30B15/12  C30B15/20  B28D5/04  B28D5/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-04-15 :
授权
2022-04-08 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : C30B 29/06
登记生效日 : 20220328
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 杨文伟
变更后权利人 : 深圳市凯新达电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 618000 四川省德阳市华山南路海棠巷8号
变更后权利人 : 518057 广东省深圳市南山区西丽街道松坪山社区朗山路11号同方信息港F栋1901
2020-12-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20200811
2020-12-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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