EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法
授权
摘要
本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确，可克服已有成分检测技术具备的缺点，检测试样重复使用率高，不受外界引入其它杂质元素的干扰；不但可以检测出需检测元素含量，同时可通过面分析（Mapping Analysis）分析元素的分布位置，能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。
基本信息
专利标题 ：
EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112198184A
申请号 ：
CN202010973484.3
公开（公告）日 ：
2021-01-08
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
CN112198184B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
张瑾张飞叶翔周建波
申请人 ：
宁波锦越新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路18号
代理机构 ：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
段艳艳
优先权 ：
CN202010973484.3
主分类号 ：
G01N23/2252
IPC分类号 ：
G01N23/2252 G01N23/2202
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束，例如扫描电子显微镜
G01N23/2252
测量受激X射线，例如电子探针微量分析
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-01-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2252
申请日 : 20200916
申请日 : 20200916
2021-01-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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