基于涡旋光螺旋波前-空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及...
实质审查的生效
摘要

本发明涉及光学干涉精密计量技术领域,涉及一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法。一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移快速测量系统,包括沿激光传输方向依次设置的He‑Ne激光器、起偏器、四分之一波片、第一分光棱镜、第二分光棱镜、位移平台、反射镜、螺旋相位板、第三分光棱镜和偏振相机;所述起偏器的偏振方向与四分之一波片光轴的夹角为45°。本发明的测量系统采用马赫‑曾德干涉仪结构,系统结构紧凑,稳定性强,测量精度高。采用空间相移干涉测量结构,可以快速同时捕获四幅相移干涉图,解调得到真实螺旋相位分布,实现微位移快速测量。

基本信息
专利标题 :
基于涡旋光螺旋波前-空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459357A
申请号 :
CN202011129457.4
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨忠明杨栋刘兆军
申请人 :
山东大学
申请人地址 :
山东省青岛市即墨区滨海路72号
代理机构 :
青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
马千会
优先权 :
CN202011129457.4
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  G01B9/02015  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20201021
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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