光刻胶分配器以及半导体制造设备
实质审查的生效
摘要

本发明提供的一种光刻胶分配器以及半导体制造设备,涉及半导体技术领域,包括:喷嘴壳体上开设有多个内腔,每个内腔对应设置有一个喷嘴,喷嘴装配在喷嘴壳体的外壁并与对应的内腔连通;多个单元喷涂组件与多个内腔一一对应;其中,单元喷涂组件包括单元瓶和驱动装置,单元瓶装配在内腔并与喷嘴连通,驱动装置与单元瓶驱动装配,以驱动单元瓶内的光刻胶沿喷嘴流出。在上述技术方案中,如果需要更换光刻胶时,只需要将该光刻胶分配器内不同单元喷涂组件移动到半导体的对应位置,将装载的不同光刻胶继续进行涂敷工作即可。所以,整个光刻胶的更换过程中并不需要机械结构的改变,只需要选择光刻胶分配器内不同的单元喷涂组件对应进行涂敷工作即可。

基本信息
专利标题 :
光刻胶分配器以及半导体制造设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114377906A
申请号 :
CN202011140748.3
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2020-10-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李其衡贺晓彬丁明正刘强杨涛
申请人 :
中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
金铭
优先权 :
CN202011140748.3
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02  G03F7/16  H01L21/027  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05C 5/02
申请日 : 20201022
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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