波纹管及半导体制造设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种波纹管及半导体制造设备，其中，所述波纹管的内侧壁为褶皱结构，所述波纹管包括：覆盖管，所述覆盖管内嵌于所述波纹管内，并与所述褶皱结构之间密封衔接，其中，所述覆盖管的内侧壁为非褶皱结构，且所述覆盖管可随所述波纹管在所述波纹管的折叠伸缩方向上改变长度。本申请中通过内侧壁为非褶皱结构的覆盖管，覆盖内侧壁为褶皱结构的波纹管，由于内侧壁为非褶皱结构的覆盖管相对于波纹管原本的褶皱结构来说，不容易堆积粉尘，而且更容易清理，本申请解决了现有技术中波纹管的褶皱容易堆积粉尘、不易清理的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
波纹管及半导体制造设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114429895A
申请号 ：
CN202011176499.3
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
将镇宪高建峰丁云凌刘卫兵
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京华沛德权律师事务所
代理人 ：
房德权
优先权 ：
CN202011176499.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20201029
申请日 : 20201029
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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