一种半导体芯片制造设备
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摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片制造设备,属于半导体芯片领域,其技术方案要点包括外壳,所述外壳的内底壁转动连接有转动杆,所述外壳的内底壁设置有位于转动杆背面的伺服电机,所述伺服电机的输出轴固定连接有转动轴,所述转动轴的表面设置有转动组件,所述外壳的背面左侧设置有传导组件,所述外壳的顶部设置有滑动组件,所述滑动组件的左侧固定连接有导液管,所述导液管依次贯穿滑动组件和外壳并延伸至外壳的内部,所述导液管的底部连通有喷头,所述外壳的顶部固定连接有导料管,所述导料管贯穿外壳并延伸至外壳的内部,本实用新型通过设置传导组件和转动组件,可以连续对产品进行涂抹光阻液,增加了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片制造设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022116298.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN213943608U
授权日 :
2021-08-13
发明人 :
韩少华
申请人 :
韩少华
申请人地址 :
广东省广州市番禺区骏新路290号菁华轩11座1梯302房
代理机构 :
广州文衡知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邓陶钧
优先权 :
CN202022116298.6
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02  B05B13/04  H02K7/10  H02K7/06  G03F7/16  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2021-08-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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