一种顶针及半导体芯片制造设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种顶针及半导体芯片制造设备,涉及半导体芯片制造技术领域。本实用新型包括底板、转盘和滑板,转盘上表面固定连接有第一滑轨,第一滑轨上表面设置有移动板,移动板上表面固定连接有第二滑轨,第二滑轨上表面设置有支撑板,支撑板上表面固定连接有工作台和电动伸缩杆,滑板与滑槽滑动配合,工作台内部设置有固定槽,工作台下表面设置有通孔,电动伸缩杆上表面固定连接有安装板,安装板上表面固定连接有顶针。本实用新型通过一种顶针及半导体芯片制造设备,有效的保护了芯片,提高了芯片的精密度,防止灰尘腐蚀芯片,若取下芯片,便于工作人员取下芯片,提高了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种顶针及半导体芯片制造设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022403719.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-26
授权号 :
CN212991075U
授权日 :
2021-04-16
发明人 :
詹小华
申请人 :
詹小华
申请人地址 :
广东省广州市白云区新市黄沙岗飞鹅工业城3栋601
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022403719.3
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/67  B08B1/00  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-04-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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