存储器的电容连接线的制作方法和存储器
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一个存储器的电容连接线的制作方法和存储器,涉及半导体制备技术领域。其中,制作方法包括:在衬底上依次形成位线层和第一介质层;图案化位线层和第一介质层,形成沿第一方向间隔排布的位线结构和位于位线结构顶部的介质结构;在形成有位线结构和介质结构的衬底上形成绝缘层,以完全包覆位线结构和介质结构;以在相邻的位线结构之间形成间隔排布的第二隔离结构;在第一隔离结构和第二隔离结构之间形成导电结构,形成存储节点接触结构。通过本公开的技术方案,不需要制备昂贵的SOD牺牲层,降低了制备成本,而且减少了电容连接线的短路的情况发生,提升了存储器的可靠性和成品率。
基本信息
专利标题 :
存储器的电容连接线的制作方法和存储器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114446889A
申请号 :
CN202011221664.2
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈洋
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
孙宝海
优先权 :
CN202011221664.2
主分类号 :
H01L21/8242
IPC分类号 :
H01L21/8242 H01L27/108
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
H01L21/78
把衬底连续地分成多个独立的器件
H01L21/82
制造器件,例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822
衬底是采用硅工艺的半导体的
H01L21/8232
场效应工艺
H01L21/8234
MIS工艺
H01L21/8239
存储器结构
H01L21/8242
动态随机存取存储结构
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/8242
申请日 : 20201105
申请日 : 20201105
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载