存储器的制作方法、存储器及存储器系统
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种存储器的制作方法、存储器及存储器系统,该存储器的制作方法包括:在衬底上形成第一停止层;在该第一停止层中形成凹槽,该凹槽贯穿该第一停止层并延伸至该衬底内;在该第一停止层上形成第二停止层,该第二停止层覆盖该凹槽的内壁;在该第二停止层上形成堆栈层,该堆栈层中形成有贯穿该堆栈层且延伸至该衬底内的存储沟道结构;在该堆栈层中形成栅极缝隙,该栅极缝隙贯穿该堆栈层和该凹槽内的该第二停止层,并延伸至该衬底内;在该堆栈层中形成栅极结构,并在该栅极缝隙中形成栅极缝隙结构,从而能在栅极置换工艺中防止第一停止层发生翘起,进而避免堆栈层发生鼓包现象,有利于栅极材料的填充均匀性,提高了栅极的导电性能。
基本信息
专利标题 :
存储器的制作方法、存储器及存储器系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114388527A
申请号 :
CN202210021158.1
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴林春
申请人 :
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 :
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 :
孟霞
优先权 :
CN202210021158.1
主分类号 :
H01L27/1157
IPC分类号 :
H01L27/1157 H01L27/11582 H01L27/11575
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/1157
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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