本发明提供一种散射测量装置及方法，包括：光源，用于产生照明光束；分束镜，用于将照明光束分为第一照明光束和第二照明光束；物镜，将第一照明光束汇聚到基底表面，并收集基底表面散射的光；成像单元和探测单元，成像单元将物镜的光瞳成像到探测单元；反射单元，用于使第二照明光束的光轴发生偏转，并将第二照明光束反射后经成像单元成像到探测单元上；其中，反射单元包括至少一个光学元件，反射单元中存在至少一个光学元件包括中性吸收材料；中性吸收材料指的是在预设波段内吸收率的波动率小于预设值的材料。本发明实施例，以减小S偏振光和P偏振光光强差异，解决了由于偏振光强差异导致的测量误差，降低了技术难度和成本。