具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法。所述VCSEL激光器，包括：外延结构和电连接于所述外延结构的正电极和负电极；所述外延结构，包括：衬底；位于所述衬底上方的第一反射器和第二反射器，其中，所述第一反射器和所述第二反射器之间设有反射腔；形成于所述反射腔内的多个有源区和多个隧道结，所述多个有源区和所述多个隧道结在所述反射腔内交替设置；以及，形成于所述反射腔内的至少二限制层，所述至少二限制层分别具有开孔，其中，所述至少二限制层的所述开孔中至少部分开孔之间具有不同的孔径。这样，所述VCSEL激光器能够在具有较高光电转化效率的同时兼顾远场束散角的大小。
基本信息
专利标题 ：
具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520461A
申请号 ：
CN202011519982.7
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2020-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王立李念宜郭铭浩林珊珊
申请人 ：
浙江睿熙科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市良渚街道通运街358号2幢101室
代理机构 ：
宁波市道同知识产权代理有限公司
代理人 ：
谢华
优先权 ：
CN202011519982.7
主分类号 ：
H01S5/183
IPC分类号 ：
H01S5/183 H01S5/32 H01S5/34 H01S5/343
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/183
申请日 : 20201221
申请日 : 20201221
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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