一种金属掩膜版框架安全夹具
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摘要

本发明公开了掩膜版技术领域的一种金属掩膜版框架安全夹具,包括固定基座和夹具支架,夹具支架之间设置有对位部件,所述对位部件可向内部进行手动滑动,夹具支架上安装气动微调节夹具,气动微调节夹具用微气流作为动力,推动夹持部对掩膜版的框架侧边进行夹持,调节夹持力度,冲支台对掩膜版的底部区域进行缓冲支撑,掩膜版整体底部受力均匀,本发明通过设置对位部件将掩膜版的框架进行挤压对齐,保证掩膜版在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态,通过设置的气动微调节夹具通过控制气体的流速控制夹头的夹持力度,气体推动提供推力更加便于对精密部件的缓冲夹持,避免机械结构操作的夹持力过大对掩膜版外部造成损伤。

基本信息
专利标题 :
一种金属掩膜版框架安全夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112873082A
申请号 :
CN202011546493.0
公开(公告)日 :
2021-06-01
申请日 :
2020-12-23
授权号 :
CN112873082B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
钱超杨波
申请人 :
江苏高光半导体材料有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市句容经济开发区容宁创业园2#
代理机构 :
南京行高知识产权代理有限公司
代理人 :
肖念
优先权 :
CN202011546493.0
主分类号 :
B25B11/00
IPC分类号 :
B25B11/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置,例如,磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-06-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25B 11/00
申请日 : 20201223
2021-06-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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