整体铸造型光刻机物镜冷却水套
授权
摘要
本实用新型涉及应用于光刻机物镜冷却领域，尤其涉及一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套。一种整体铸造型光刻机物镜冷却水套，包括内套、不锈钢弯管以及砂模组件，其特征在于：所述内套套在砂模组件当中，所述不锈钢弯管盘在内套上，且所述不锈钢弯管通过电焊的的方式设置在内套外壁。本实用新型的有益之处：不锈钢盘管焊在一个不锈钢内套上，保证了盘管尺寸误差在±1mm左右，从而保证了铸件后期加工不会把不锈钢弯管加工穿漏。
基本信息
专利标题 ：
整体铸造型光刻机物镜冷却水套
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020207373.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-25
授权号 ：
CN212060866U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
马宏超
申请人 ：
苏州美迈快速制造技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN202020207373.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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